热点新闻
SECS/GEM300协议概念
2023-10-12 21:22  浏览:3090  搜索引擎搜索“混灰机械网”
温馨提示:信息一旦丢失不一定找得到,请务必收藏信息以备急用!本站所有信息均是注册会员发布如遇到侵权请联系文章中的联系方式或客服删除!
联系我时,请说明是在混灰机械网看到的信息,谢谢。
展会发布 展会网站大全 报名观展合作 软文发布

       美国对中国的芯片制裁越来越严重,中国政府大力推动国内半导体发展。半导体工厂要实现自动化生产和管理,必须采用MES系统,同时符合半导体规范以及国际标准。

SEMI(国际半导体产业协会)制定半导体的标准规范,其中包含SECS/GEM、GEM300、Interface-A等标准协议,指定设备和工厂之间的信息交互以及控制等规范。

 中国半导体产业的蓬勃发展,GEM300标准在半导体行业中的重要性越来越显著。GEM300作为SEMI标准中的一项,是应用于12寸晶圆半导体制造工艺所需的标准规范。这一标准对于投入到300mm晶圆半导体制造工序中的设备来说,是必要的标准化规范。

半导体协议分为SECS/GEM、GEM300。

SECS/GEM也称为GEM200,协议包含

E4 SECS I,E37 HSMS ,E5 SECS II,E30 GEM

GEM300(300mm):复杂和应用更高级的场景

E40 (PROCESSING MANAGEMENT),E84 (ENHANCED CARRIER HANDOFF PARALLEL I/O INTERFACE),E87 (CARRIER MANAGEMENT (CMS)),E90(SUBSTRATE TRACKING),E94(ConTROL JOB MANAGEMENT),E116(EQUIPMENT PERFORMANCE TRACKING),E157(MODULE PROCESS TRACKING)

GEM300用途是对Load Port和Job的管理居多。

涉及的消息集包含S3Fx、S14Fx、S16Fx

国内实施成熟GEM300的公司也寥寥无几,金南瓜科技是目前遥遥领先的提供商。






    半导体制造工序中,300mm晶圆产能的比例逐步增多,需要支持GEM300标准的设备和全自动化生产要求也越来越多。在半导体设备制造行中,增加支持SECS/GEM300标准困难性比较高。GEM300的要求与现有SECS/GEM标准功能相比,场景支持的复杂性较高。

    作为国产遥遥领先的GEM300,金南瓜的Gem300备受瞩目。该产品在基于GEM标准的基本功能金南瓜SECS/GEM基础上,增加了对300mm制程场景的支持。它可以完美支持SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94等多项标准,可协助制造商轻松创建和管理Carrier、Substrate、Control Job、Process Job等对象。在支持SECS/GEM的基础上直接扩展GEM300功能。

发布人:007e****    IP:117.173.23.***     举报/删稿
展会推荐
让朕来说2句
评论
收藏
点赞
转发